Masse volumique :
gazeux, 15°C, 101,3 kPa : 1,607.10-3 g.cm-3

Temp. fusion : -219,62°C
Temp. sublimation : -188,14°C

Temp. critique : -128,74°C
Pres. critique : 51,7 kPa
Temp. pt triple : -219,67°C
Pres. pt triple : 0,24 kPa

Solubilité dans l'eau : hydrolysé en HF
Conductibilité thermique : 0,0279 W.m-1K-1